晶圓廠為何要用天車搬運晶圓?

時間:2024-05-26 14:38:23 閱讀:2

晶圓廠為何要用天車搬運晶圓?

晶圓廠的主動化水平有多高?

聽說,在臺積電的廠區中,有著長達50公里的天車軌道,5000多個軌路途口,2000多臺晶圓傳輸盒子在同時活動,天天必要運送60萬車次的晶圓…

為什么要用這種天車來搬運晶圓?人工搬運就不可嗎?

眾所皆知,晶圓制造是人類迄今為止最繁復的制造業之一。

一片晶圓要在幾百臺消費裝備間流轉,數十次重入同典范的加工裝備,顛末成百上千道工序,才會誕生數百顆指甲蓋輕重的芯片。

而承繼晶圓廠空中運輸的主要裝備,就是這個天車。

約莫各位不曉得,芯片制造所處的情況,要比病院的手術室還要干凈10萬倍。

任何弱小塵土或沾染物都約莫招致晶圓毀壞,從而影響芯片的產出率和質量。

假如使用手動搬運的辦法,不僅風險很高,容易招致晶圓毀壞,并且還會帶來塵土大概其他沾染。

而天車在關閉的軌道內運轉,可以大大減小晶圓暴露在外界情況中的風險,從而好效制止沾染成績。

其次就是聽從。

晶圓在制造歷程中必要顛末數百個不同的工序,這些工序要在多個自用裝備之間舉行。

而天車經過內里精密的盤算機控制,可以一連無中斷的,快速且精準地將晶圓從一個事情站挪動到另一個事情站。

說的再普通點,只需有電,它就能不休實行搬運職責,這是人工再怎樣積極,也無法到達的。

由于天車對整個產線的安定運轉來說太緊張了,因此晶圓廠尋常都市使用業內成熟度比力高的產物。

現在,在舉世晶圓天車市場中,主要被日本村田機器和日本大福所把持,市場占據率達95%以上。

固然不確定日本會不會拿這個卡我們脖子,但依照以往的履歷,天車的國產交換是一定要有的。

好的消息是,現在以前有一些國產天車,被使用到實踐消費中。

固然了,也不是一切的晶圓廠都市用到天車,好比6寸的晶圓廠就不必要。

由于比擬之下,6寸的晶圓較輕,通常情況入手動搬運大概使用較小的主動化裝備,就可以了。

再者,天車體系的價格十分昂貴。

據悉,12寸晶圓廠中一套完備的天車主動化搬運體系,占晶圓廠安穩投資的3%支配。

也就是說,假如投資300億美元建廠,這套搬運體系就要花掉9個億。

以是有人就說,這種天車約莫是舉世最貴的小車,也是有真理的。

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